Nanoindentation е подобен на конвенционалните твърдост тестване на много по-малък мащаб. Силата необходима да натиснете идентора остър диамант в материал се измерва като функция на отстъп дълбочина. Като дълбочина решителност е по скалата на нанометра (оттук името на инструмента), е възможно да провеждат експерименти отстъпи дори на тънки филми. Две количества, които могат да бъдат лесно извлечени от nanoindentation експерименти са на материала модул, или скованост, както и неговата твърдост, която може да бъде отнесен към граница на провлачане. Investegators също са използвани nanoindentation да учи пълзене, пластмасови поток и фрактура на материали.